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我們的技術(shù)團(tuán)隊(duì)是國(guó)內(nèi)唯一完成過ArF, KrF, I Line, G Line全部工程案例的團(tuán)隊(duì)，擁有ASML和NIKON光刻機(jī)的翻新改造、安裝調(diào)試及維護(hù)的核心技術(shù)能力。
針對(duì)12英寸及以下的不同尺寸（包括硅、碳化硅、氮化鎵、藍(lán)寶石等）、不同掩模版尺寸的要求，可實(shí)現(xiàn)自主設(shè)計(jì)、 加工制造、集成調(diào)整的改造能力。
