主要特色:
1.等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備
2.用于SiO2,SiN的高精度薄膜沉積
3.膜層應(yīng)力穩(wěn)定,可調(diào)范圍廣泛
4.可換托盤式,基板尺寸切換簡(jiǎn)便
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主要特色:
1.等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備
2.用于SiO2,SiN的高精度薄膜沉積
3.膜層應(yīng)力穩(wěn)定,可調(diào)范圍廣泛
4.可換托盤式,基板尺寸切換簡(jiǎn)便
