ASML Twinscan AT 1250B 是步進和掃描儀系統。Twinscan AT 1250B 可以生產 8”- 12” 的晶圓尺寸。
配置信息
? ASML Twinscan XT1250B ARF掃描儀，193nm曝光波長
? 配備GIGAPHOTON GT42A4激光系統（20W）
? < 70nm分辨率
? 減速比：1:4
? 曝光場（最大x，y）：26mm x 33mm
? 數值孔徑：0.60至0.85
? 2點全局對齊：<0.008um
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ASML Twinscan AT 1250B 是步進和掃描儀系統。Twinscan AT 1250B 可以生產 8”- 12” 的晶圓尺寸。
? ASML Twinscan XT1250B ARF掃描儀，193nm曝光波長
? 配備GIGAPHOTON GT42A4激光系統（20W）
? < 70nm分辨率
? 減速比：1:4
? 曝光場（最大x，y）：26mm x 33mm
? 數值孔徑：0.60至0.85
? 2點全局對齊：<0.008um
